参数值
3s -12s
±3 ~ ±5μm@3σ
±0.5°@3σ
0.15×0.15mm-5×5mm( 凭据产物需更换镜头 )
0.076-1mm（3-40mil，尺度）最薄到 0.05mm（2mil，选配）
长：100-300mm；宽：40-90mm（40 以下选配定制）高：0.1-0.8mm（尺度）0.8-2.0mm（选配）
凭据产物由客户提供
兼容 6 寸晶圆（2inch、4inch 华夫盒
±15° 规模
360°
20-300g
40-90mm
256 灰度级 / 寻边
1920pixel×2560pixel
5M（1920×2560pixel） FOV（16mm；×1,×2,×4）
±0.1°
W:1630mm;H:1160mm;D:1500mm( 具体以实物为准 )
1200KG ( 具体以实物为准 )
